Κεραμική Ηλεκτροστατική Σκάκα (ESC) ∆ιασκόπιση υποστρώματος ακριβείας για περιβάλλοντα υψηλού κενού και πλάσματος

Κεραμικό Ηλεκτροστατικό Τσοκ (ESC) —— Ακριβής Σύσφιξη Υποστρωμάτων για Περιβάλλοντα Υψηλού Κενού & Πλάσματος

Στην προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών και την εναπόθεση λεπτών υμενίων, οι συμβατικές μέθοδοι μηχανικής ή κενού σύσφιξης αποτυγχάνουν να καλύψουν τις απαιτήσεις υπερ-καθαριότητας, υψηλού κενού και ελεγχόμενης θερμοκρασίας της επεξεργασίας υπο-νανομέτρων. Τα δικά μας Κεραμικά Ηλεκτροστατικά Τσοκ (ESC) χρησιμοποιούν Κουλομπικές ή Johnsen-Rahbek (J-R) ηλεκτροστατικές δυνάμεις για να συσφίγγουν ασφαλώς γκοφρέτες και υποστρώματα χωρίς μηχανική επαφή στην άκρη, προσφέροντας εξαιρετική ομοιομορφία θερμοκρασίας, επιπεδότητα γκοφρέτας και μείωση σωματιδίων.

Τεχνικοί Μηχανισμοί & Τύποι

Μηχανουργούμε και τις δύο κύριες διαμορφώσεις ηλεκτροστατικών τσοκ προσαρμοσμένες σε συγκεκριμένα περιβάλλοντα επεξεργασίας:

• Κεραμικό ESC Τύπου Johnsen-Rahbek (J-R): Κατασκευασμένο με ημιαγώγιμες κεραμικές συνθέσεις (όπως ντοπαρισμένη αλουμίνα ή καρβίδιο του πυριτίου). Χρησιμοποιώντας ρεύματα μικροδιαρροής στη διεπαφή γκοφρέτας-τσοκ, τα τσοκ J-R παράγουν τεράστιες ηλεκτροστατικές δυνάμεις σύσφιξης σε χαμηλότερες τάσεις λειτουργίας, καθιστώντας τα ιδανικά για διεργασίες χάραξης πλάσματος υψηλής πυκνότητας και διεργασίες PVD/CVD.

• Κεραμικό ESC Τύπου Coulombic: Κατασκευασμένο με μονωτικά κεραμικά υψηλής καθαρότητας. Η σύσφιξη βασίζεται εξ ολοκλήρου στη συσσώρευση καθαρού ηλεκτροστατικού φορτίου, παρέχοντας σταθερή σύσφιξη σε ευρείες περιοχές θερμοκρασίας και δυνατότητες υπερ-γρήγορης απο-σύσφιξης για ευαίσθητα διηλεκτρικά υλικά.

Βασικά Πλεονεκτήματα

1. Εξαιρετικός Θερμικός Έλεγχος & Ομοιομορφία

Ενσωματωμένα με αντιστάσεις θέρμανσης πολλαπλών ζωνών και ενσωματωμένα κανάλια ψύξης ηλίου, τα κεραμικά μας ESC διασφαλίζουν ακριβή κατανομή θερμοκρασίας της γκοφρέτας ($le pm 1^circtext{C}$ σε $300 text{mm}$ γκοφρέτες), κρίσιμο για τον έλεγχο κρίσιων διαστάσεων (CD) στη χάραξη και την εναπόθεση.

2. Υψηλή Αντοχή στη Διάβρωση & στο Πλάσμα

Κατασκευασμένο από προηγμένα τεχνικά κεραμικά όπως Αλουμίνα Υψηλής Καθαρότητας ($Al_2O_3$) και Νιτρίδιο του Αλουμινίου ($AlN$), η επιφάνεια του τσοκ αντιστέκεται σε επιθετικά αλογονικά πλάσματα ($F_2$, $Cl_2$) και αντιδραστικά αέρια, ελαχιστοποιώντας την παραγωγή σωματιδίων στον θάλαμο και επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής λειτουργίας.

3. Υπερ-επίπεδη Επιφάνεια & Καταστολή Σωματιδίων

Μικρο-μηχανουργημένα μοτίβα μεσαίας (πείρου) στην κεραμική επιφάνεια μειώνουν δραστικά την περιοχή επαφής μεταξύ της πίσω πλευράς της γκοφρέτας και του τσοκ, αποτρέποντας τη μόλυνση σωματιδίων από την πίσω πλευρά και διατηρώντας ανώτερη επιπεδότητα γκοφρέτας ($le 1 mutext{m}$).

4. Γρήγορη Απόκριση & Αξιόπιστη Απο-σύσφιξη

Βελτιστοποιημένα διηλεκτρικά στρώματα και προηγμένος έλεγχος ισχύος επιτρέπουν γρήγορους κύκλους σύσφιξης και απο-σύσφιξης, εξαλείφοντας το υπολειπόμενο ηλεκτροστατικό φορτίο και μεγιστοποιώντας την απόδοση της γκοφρέτας.

Τυπικές Εφαρμογές