Λεπτομέρειες:
|
Εφαρμογή: | ολοκληρωμένα κυκλώματα, συσκευή ανιχνευτών/αισθητήρων, επεξεργασία MEMS, οπτικοηλεκτρονικά συστατικά | Διάμετρος: | Ø 2»/Ø 3»/Ø 4»/Ø 6»/Ø 8»/Ø 12» |
---|---|---|---|
Πάχος οξειδίων: | 100 ένα um ~ 6 | Βαθμός: | Πρωταρχικός/δοκιμή/πλαστός βαθμός |
Επισημαίνω: | Υψηλότερη γκοφρέτα οξειδίων ομοιομορφίας θερμική,Θερμική γκοφρέτα οξειδίων ως μονωτή,2» θερμική γκοφρέτα πυριτίου οξειδίων |
Θερμική γκοφρέτα οξειδίων, υψηλότερη ομοιομορφία, και υψηλότερη διηλεκτρική δύναμη, άριστο διηλεκτρικό στρώμα ως μονωτή
Το θερμικό στρώμα οξειδίων ή διοξειδίου πυριτίου διαμορφώνεται στη γυμνή επιφάνεια πυριτίου στην ανυψωμένη θερμοκρασία παρουσία ενός οξειδωτικού, η διαδικασία καλείται θερμική οξείδωση. Το θερμικό οξείδιο αυξάνεται κανονικά σε έναν οριζόντιο φούρνο σωλήνων, στη σειρά θερμοκρασίας από 900°C ~ 1200°C, χρησιμοποιώντας είτε μια «υγρή» είτε «ξηρά» μέθοδο αύξησης. Το θερμικό οξείδιο είναι ένα είδος «αυξημένου» στρώματος οξειδίων, έναντι κατατεθειμένου του CVD στρώματος οξειδίων, έχει μια υψηλότερη ομοιομορφία, και η υψηλότερη διηλεκτρική δύναμη, αυτό είναι ένα άριστο διηλεκτρικό στρώμα ως μονωτής. Στις περισσότερες βασισμένες στο πυρίτιο συσκευές, το θερμικό στρώμα οξειδίων διαδραματίζει έναν σημαντικό ρόλο για να κατευνάσει την επιφάνεια πυριτίου για να ενεργήσει ως νάρκωση των εμποδίων και ως διηλεκτρικά επιφάνειας. παρέχουμε τη θερμική γκοφρέτα οξειδίων στη διάμετρο από 2» σε 12», επιλέγουμε πάντα τον πρωταρχικούς βαθμό και την ατέλεια - ελεύθερη γκοφρέτα πυριτίου ως υπόστρωμα για την ανάπτυξη του υψηλού στρώματος οξειδίων ομοιομορφίας θερμικού για να καλύψουμε τις συγκεκριμένες απαιτήσεις σας. Μας ελάτε σε επαφή με για περισσότερες πληροφορίες στο χρόνο τιμών & παράδοσης.
Θερμική ικανότητα οξειδίων
Χαρακτηριστικά μετά από τη θερμική διαδικασία οξείδωσης, και η μπροστινή πλευρά και η πίσω πλευρά της γκοφρέτας πυριτίου έχουν το στρώμα οξειδίων. Σε περίπτωση που μόνο ένα δευτερεύον στρώμα οξειδίων απαιτείται, μπορούμε να αφαιρέσουμε πίσω το οξείδιο και να προσφέρουμε μια δευτερεύουσα θερμική γκοφρέτα οξειδίων για σας.
Σειρά πάχους οξειδίων | Τεχνική οξείδωσης | Μέσα στην γκοφρέτα ομοιομορφία |
Γκοφρέτα στην γκοφρέτα ομοιομορφία |
Επιφάνεια επεξεργασμένη |
---|---|---|---|---|
100 Å ~ 500Å | ξηρό οξείδιο | +/- 5% | +/- 10% | και οι δύο πλευρές |
600 Å ~ 1000Å | ξηρό οξείδιο | +/- 5% | +/- 10% | και οι δύο πλευρές |
100 NM ~ 300 NM | υγρό οξείδιο | +/- 5% | +/- 10% | και οι δύο πλευρές |
400 NM ~ 1000 NM | υγρό οξείδιο | +/- 3% | +/- 5% | και οι δύο πλευρές |
1 um um ~ 2 | υγρό οξείδιο | +/- 3% | +/- 5% | και οι δύο πλευρές |
3 um um ~ 4 | υγρό οξείδιο | +/- 3% | +/- 5% | και οι δύο πλευρές |
5 um um ~ 6 | υγρό οξείδιο | +/- 3% | +/- 5% | και οι δύο πλευρές |
Θερμική εφαρμογή γκοφρετών οξειδίων
100 Α | Να ανοίξει Γκέιτς |
150 ΈΝΑ ~ 500 Α | Οξείδια πυλών |
200 ΈΝΑ ~ 500 Α | ΓΊΝΕΤΑΙ ΈΞΑΛΛΟΣ το οξείδιο μαξιλαριών |
2000 ΈΝΑ ~ 5000 Α | Καλύπτοντας οξείδια |
3000 ΈΝΑ ~ 10000 Α | Οξείδια τομέων |
Προδιαγραφή προϊόντων
Τεχνική Qxidation | Υγρή οξείδωση ή ξηρά οξείδωση |
---|---|
Διάμετρος | Ø 2»/Ø 3»/Ø 4»/Ø 6»/Ø 8»/Ø 12» |
Πάχος οξειδίων | 100 ένα um ~ 6 |
Ανοχή | +/- 5% |
Επιφάνεια | Ενιαίο δευτερεύον ή διπλό στρώμα οξειδίων πλευρών |
Φούρνος | Οριζόντιος φούρνος σωλήνων |
Gase | Αέρια υδρογόνου και οξυγόνου |
Θερμοκρασία | 900 Γ ° - 1200 Γ ° |
Δείκτης διάθλασης | 1,456 |
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Daniel
Τηλ.:: 18003718225
Φαξ: 86-0371-6572-0196