Κεραμικά εξαρτήματα για την ευρύτερη βιομηχανία ημιαγωγών

Καθώς η κατασκευή ημιαγωγών προχωρά προς μικρότερα μεγέθη κόμβων και υψηλότερες πυκνότητες ισχύος, τα περιβάλλοντα διαδικασίας απαιτούν υλικά που μπορούν να αντέξουν ακραία θερμότητα, αντιδραστική χημεία πλάσματος,και αυστηρά πρότυπα καθαριότηταςΤο δικό μας.Προηγμένα κεραμικά εξαρτήματαείναι ειδικά σχεδιασμένα για να ανταποκρίνονται στις αυστηρές απαιτήσεις του ευρύτερου οικοσυστήματος ημιαγωγών, από τον εξοπλισμό κατασκευής και επεξεργασίας πλακιδίων στο front-end μέχρι τα συστήματα συσκευασίας και ελέγχου στο back-end..

Υλικό χαρτοφυλάκιο

Προσφέρουμε μια ολοκληρωμένη επιλογή τεχνικών κεραμικών υψηλών επιδόσεων, προσαρμοσμένων σε συγκεκριμένες εφαρμογές ημιαγωγών:

• Νιτρικό αλουμίνιο ($AlN$): Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα ($170 sim 230 text{W/m}cdottext{K}$Ιδανικό για θερμικούς διαχέτες, ηλεκτροστατικούς κυλίνδρους και βάθους θερμαντήρων.

• Καρβίδιο του πυριτίου ($SiC$): Εξαιρετική σκληρότητα, υψηλό όγκο ελαστικότητας και ανώτερη αντοχή σε θερμικά σοκ.και σωλήνες διάχυσης υψηλής θερμοκρασίας.

• Αλουμίνια υψηλής καθαρότητας (Αλβανικό αλκοόλ 99,8%): Εξαιρετική διηλεκτρική αντοχή, υψηλή αντοχή στην διάβρωση του πλάσματος και οικονομικά αποδοτικές επιδόσεις για επενδύσεις θαλάμου, δακτυλίδια εστίασης και ηλεκτρικούς μονωτές.

• Υττρία ($Y_2O_3$) & Υττρια-σταθεροποιημένο Ζιρκόνιο ($YZZ$): Εξαιρετική αντοχή σε σκληρή διάβρωση από πλάσμα φθορίου και χλωρίου, καθιστώντας τα το προτιμώμενο υλικό για τα εξαρτήματα των θαλάμων χαρακτικής πλάσματος.

Κύρια πλεονεκτήματα

1Υψηλή αντοχή στο πλάσμα και στην χημική διάβρωση

Η υψηλή χημική σταθερότητα εξασφαλίζει ελάχιστη υποβάθμιση όταν εκτίθεται σε επιθετικά αέρια χαρακτικής και εναπόθεσης ($F_2$,$Cl_2$,$NF_3$,$O_2$Η μέθοδος αυτή έχει ως στόχο να μειώσει σημαντικά τη μόλυνση από σωματίδια και να επεκτείνει τα διαστήματα αντικατάστασης των εξαρτημάτων.

2. Σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες και θερμικά σοκ

Διατηρεί μηχανική ακεραιότητα, σταθερότητα διαστάσεων και χαμηλούς συντελεστές θερμικής διαστολής σε θερμοκρασίες που υπερβαίνουν1000°C, επιτρέποντας αξιόπιστη απόδοση σε περιβάλλοντα ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP) και CVD.

3Υπερκαθαρές και χαμηλές ιδιότητες εκπομπής αερίων

Κατασκευάζεται υπό αυστηρές συνθήκες καθαρού δωματίου για την εξάλειψη των μεταλλικών προσμείξεων και των πτητικών οργανικών ενώσεων (ΠΟΟ),διασφάλιση της πλήρους συμβατότητας με τα πρότυπα επεξεργασίας υψηλού κενού και υπερκαθαριότητας.

4. Ακριβείς ανοχές και επιφάνειες καθρέφτη

Χρησιμοποιώντας πολυάξονες σχισμές διαμαντιών, υπερηχητική επεξεργασία και προηγμένη γυαλιστική, τα εξαρτήματα τελειώνουν σε ανοχές μικροεπίπεδου ($le pm 0.001 text{mm}$) και την ακαμψία της επιφάνειας που γυαλίζεται με καθρέφτη ($Ra le 0.01 mutext{m}$)).

Εφαρμογές σε όλη την αλυσίδα αξίας των ημιαγωγών