εταιρικά νέα για Επικοινωνία με την ΕΕ: Ελέγχος της ρύπανσης των θαλάμων με μηχανική κεραμική

Με την εφαρμογή της αναθεωρημένης οδηγίας για τις βιομηχανικές εκπομπές (IED), οι ευρωπαϊκοί περιβαλλοντικοί κανόνες για την κατασκευή ημιαγωγών, την επεξεργασία επιφάνειας ακριβείας,Οι βιομηχανικοί εξοπλισμοί υψηλού κενού έχουν μετακινηθεί από την επεξεργασία στο τέλος του σωλήνα στην πρόληψη της ρύπανσης στην πηγή και τους ελέγχους με τις βέλτιστες διαθέσιμες τεχνικές (BAT).Το IED θέτει αυστηρά όρια νομικής συμμόρφωσης όσον αφοράεκπομπές πτητικών οργανικών ενώσεων (VOC), αποδέσμευση ίχνη τοξικών αερίων και διαχείριση αποβλήτων από διαδικασίεςΥπό υπερ-υψηλό κενό (UHV), υψηλής θερμοκρασίας χαρακτικό πλάσματος και χημικά ατμοεγκαταστάσεις (CVD), τα παραδοσιακά πολυμερή και οι συναρμολογήσεις που συνδέονται με συγκολλητικά αποσυντίθενται για την απελευθέρωση VOC,ενώ η παραδοσιακή συγκολλημένη κεραμική κινδυνεύει με την παραγωγή σωματιδίων.Macor® Εργασματική κεραμική γυαλιού, κατασκευασμένο ως 100% καθαρό ανόργανο υπόστρωμα μηδενικής πορώτητας με μηδενική επεξεργασιμότητα,παρέχει στους παγκόσμιους OEM μια στρατηγική λύση για τη βελτιστοποίηση του ελέγχου της μόλυνσης των θαλάμων και τη συμμόρφωση με τους ελέγχους IED.

1Παράβαλα στον κλάδο: Κίνδυνοι μόλυνσης από την πηγή υπό τους ελέγχους των IED

Στο πλαίσιο των αυστηρών ελέγχων ΒΔΤ και του αυστηρού πλαισίου λογοδοσίας για τις εκπομπές που επιβάλλεται από το IED, τα υλικά εσωτερικών θαλάμων αποκαλύπτουν κρίσιμα ελαττώματα συμμόρφωσης:

• Θερμική εκπομπή αερίων από πολυμερή και κίνδυνοι εκπομπής ΑΟΧ: Τα πολυμερή υψηλών επιδόσεων (π.χ. PTFE, PEEK) και οι οργανικές κόλλες υποβάλλονται σε μικροαποδόμηση σε θερμική κατάσταση κενού, εκπέμποντας ίχνη ΑΟΑ και φθοριούχων αερίων.Αυτό υποβαθμίζει τις αποδόσεις των ημιαγωγών και παραβιάζει τα όρια IED για τις εκπομπές αερίων βιομηχανικής πηγής.

• Κίνδυνοι παραγωγής σωματιδίων και βιομηχανικών αποβλήτων από παλαιές κεραμικές ύλες: Η συμβατική συγκολλημένη κεραμική, όπως η αλουμίνη, συχνά παρουσιάζει μικροπορώστια επιφάνεια ή εσωτερική πίεση, με αποτέλεσμα την απολέπιση σωματιδίων υπό βομβαρδισμό από πλάσμα.Αυτό αυξάνει τη συχνότητα καθαρισμού των θαλάμων και την παραγωγή βιομηχανικών στερεών αποβλήτων.

2Τεχνολογική ανακάλυψη: Αντιμετώπιση της μείωσης των πηγών των IED μέσω του μη οργανικού Macor®

Το Macor® διαθέτει μια μοναδική ανόργανη μικροδομή που αποτελείται από 55% φθοροφλογκοπιτικές πλάκες βιντεοσφαιρίνης ενσωματωμένες σε ένα 45% βροσιλικικό γυαλί.Αποτελεί άμεση ευθυγράμμιση με τις αρχές πρόληψης της ρύπανσης από IED:

• 100% καθαρή ανόργανη μήτρα εγγυάται μηδενικές εκπομπές VOC: Ως απόλυτα πυκνό ανόργανο μονωτικό με0% χημική πορώστεια, το Macor® προσφέρει διηλεκτρική αντοχή45 kV/mmπαράλληλα με συνεχή θερμική οροφή έως800°CΔίνει.μηδενικές εκπομπές αερίων και μηδενικές ΑΟΣυπό υψηλό θερμικό κενό, διασφαλίζοντας τη φυσική συμμόρφωση με τα όρια εκπομπών αερίων IED.

• 0% Η συρρίκνωση μετά την επεξεργασία και η άμεση εσωτερική πελεκτοποίηση μειώνουν τα στερεά απόβλητα: Το Macor® μπορεί να επεξεργαστεί απευθείας χρησιμοποιώντας τυπικό εξοπλισμό CNC με ακρίβεια σε επίπεδο μικρομικρών με0% συρρίκνωση μετά την επεξεργασίαΗ πυκνή δομή του αποτρέπει την αποβολή σωματιδίων και επιτρέπειάμεση εσωτερική πεταλούδα (Tapping)να αντικαταστήσουν τις συγκολλητικές ύλες, μειώνοντας τις απορρίψεις κατά τη διάρκεια της συντήρησης.

3- Πληροφοριακή απόδειξη: Τυποποιημένες φυσικές μετρήσεις για τους ελέγχους IED

Για τους διευθυντές προμηθειών και τους υπαλλήλους περιβαλλοντικής συμμόρφωσης που συντάσσουν φακέλους συμμόρφωσης με τις ΒΔΤ του IED, οι επαληθευμένες φυσικές ιδιότητες του Macor® παρέχουν ρητή αιτιολόγηση: